虔誠敬禮。則無求不應。無願不成。經云。說悔先罪。淨名所尚。改往修來。洗浣身心。斷除眾惡。誓不更造。多劫罪愆。淨盡無餘。隨所樂求。悉令滿足。(某等)志心頂禮。求哀懺悔。
  南無毗盧遮那佛  南無本師釋迦牟尼佛  南無藥師琉璃光如來  南無無量壽佛  南無盡十方遍法界過去一切諸佛  南無盡十方遍法界現在一切諸佛  南無盡十方遍法界未來一切諸佛  南無藥師琉璃光如來本願功德經  南無日光遍照菩薩  南無月光遍照菩薩  南無文殊師利菩薩  南無觀世音菩薩  南無得大勢菩薩  南無無盡意菩薩  南無寶曇華菩薩  南無藥王菩薩  南無藥上菩薩  南無彌勒菩薩  南無消灾障菩薩  南無增福壽菩薩  南無樂音樹下三萬六千菩薩  南無阿難尊者八千比丘諸大聖僧  南無救脫菩薩
  禮諸佛已。次復懺悔。緣念像法轉時。若諸有情。為欲利益安樂拔除一切業鄣。建立殊勝功德者為欲滿修諸佛大願。具足受持諸佛名號。及正法寶藏者。欲得阿耨多羅三藐三菩提。三十二相。八十隨形。莊嚴其身者。欲得無量智慧方便。令諸眾生安立大乘者。為欲修行梵行。得不缺戒。具三聚戒。究竟清淨。無有毀犯者。欲得諸根完具。無諸疾苦。家屬資具。悉皆豐足者。欲得破魔罥網。解脫一切外道纏縛拔種種惡見稠林者。若有女人。欲轉女成男。具丈夫相者。為欲求男女而得男女。求長壽而得長壽者。或當王法所加。欲解脫一切憂苦者。欲得上妙飲食。飽足法味。及種種上妙衣服。一切寶莊嚴具者。欲行惠施。一切所有悉無貪惜。施來求者。欲得正見精進。善調意樂。多聞聰利。解甚深義。恒求勝法常遇善友者。欲受持學處。願生西方極樂世界。無量壽佛所。聽聞正法者。若有已毀之戒。而欲還清淨。已盡之命。而欲復救續。乃至國界人眾。種種諸橫。種種諸難。而欲消伏隱沒順時歡樂者。應當如法莊嚴。歸命。
  藥師琉璃光如來。一心精進。修三摩地。所以者何。彼如來行菩薩道時。所發十二微妙上願。殊勝功德。令諸聞者。業障消除。一切所求。皆得滿願故。是唯一生所繫菩薩。為能如實信解。如說修行。應當以身命財。不生恡惜。竭力莊嚴。必獲果遂。是故今日。與現前(眾等)各各志心。歸命頂禮。
  南無毗盧遮那佛  南無本師釋迦牟尼佛  南無藥師琉璃光如來  南無無量壽佛  南無盡十方徧法界過去一切諸佛  南無盡十方徧法界現在一切諸佛  南無盡十方徧法界未來一切諸佛  南無藥師琉璃光如來本願功德經  南無日光遍照菩薩  南無月光遍照菩薩  南無文殊師利菩薩  南無觀世音菩薩  南無得大勢菩薩  南無無盡意菩薩  南無寶曇華菩薩  南無藥王菩薩  南無藥上菩薩  南無彌勒菩薩  南無消灾障菩薩  南無增福壽菩薩  南無樂音樹下三萬六千菩薩  南無阿難尊者八千比丘諸大聖僧  南無救脫菩薩
  禮諸佛已。志心歸命。惟願諸佛菩薩。同運慈悲。降臨道場。一切天龍八部。藥叉諸將。悉生哀愍。來到道場。是諸聖眾。願悉證明。我於今日。欲為十方一切六道眾生。修行無上菩提。斷除一切業障。同入如來本大願海。普現色身。於一念中。供養一切十方三寶。於一念中。普度一切六道眾生。令入平等大慧。故於今日。一心精進。如說修行。惟願諸佛菩薩。
  藥師如來本願力故。受我懺悔。令我所行。決定破除罪障。行願圓成。如經所說。願悉證明。南無藥師琉璃光如來。應正等覺。明行圓滿。光明廣大。功德巍巍。身善安住。燄網莊嚴。過於日月。幽冥眾生。悉蒙開曉。隨所樂求。一切皆遂。所有病苦。悉皆消滅。無量菩薩。行無量善巧方便。無量廣大願。我若一劫。若一劫餘。而廣說者。劫可速盡。彼佛行願。善巧方便。無有盡也。是故志心。歸命頂禮。
  南無薄伽伐帝。[鞥-合+(白-日+田)]殺社。窶嚕薜琉璃。鉢囉婆。喝喇闍也。怛他揭哆耶。阿囉訶帝。三藐三勃陀耶。怛姪他。唵。[鞥-合+(白-日+田)]殺逝。[鞥-合+(白-日+田)]殺逝。[鞥-合+(白-日+田)]殺社。三沒揭帝莎訶

  讚

  藥師如來。世界琉璃。慈悲喜捨悉隨宜。懺法度羣迷。稽首歸依。所願滿求祈。
  藥師佛  藥師佛  消灾延壽藥師佛  南無消灾延壽藥師佛
  (遶壇起佛偈念佛迴向)。
  稽首東方滿月界  微妙正覺藥師尊  三祇果滿不思議  十號名稱無等倫  二六願門因地發  百千相好果中圓  慈悲海闊測難量  功德山高讚莫盡
  南無東方淨琉璃世界藥師琉璃光如來  南無消灾延壽藥師佛
  (或百聲千聲隨意迴向)

  消灾延壽藥師懺法卷上
  消災延壽藥師懺法卷中

  三千界內慈悲主  百億洲中大法王  願開蓮目鑒凡情  眾生有求皆感應
  一切諸佛。愍念眾生。為說藥師道場懺法。今當歸命。一切諸佛。
  南無毗盧遮那佛  南無本師釋迦牟尼佛  南無藥師琉璃光如